真空步进电机采用全新的设计，选用适合的材料，通过新的生产工艺完成对特殊电机的制造、检验。温度最低达-196℃，最高达+300℃，真空度优于10-7Pa。标准设计28、42、57、86框号两相四线制混合式步进电机，还可依需要定制其他规格马达，或定制耐辐射、抗霉菌、耐冲击、出轴形式等特殊需求。

德国Phytron真空电机（VSS / VSH）是空间技术30多年经验的成熟结果。两相混合式步进电机的特殊设计专为高达10-11hPa的真空应用而设计。适用于特殊环境条件，如低温和高温或极端辐射强度。

GP真空减速机可配合本公司所列步进电机和伺服电机使用，标准化设计制造40、60、80三种规格，可定制其他规格，工作温度-196℃至+200℃，使用真空度10-7Pa，平均使用寿命连续运转5000小时。

真空模组，可以在10^-7Pa的真空环境下运行，耐温达200℃，真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料。此系列产品主要应用于真空室，高温室，高洁净度环境。